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行業規范

無塵室管理規定及制度條文說明

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無塵室管理規定及制度條文說明


無塵室管理規定


目錄 (Table of content)


1.   大綱(Introduction)

1.1  范圍(Scope)

1.2 目的(Purpose)

2.  引用文件(Reference document) 

3.  名詞定義(Definition)

4. 無塵室管理規范程序

4.1 無塵室潔凈度等級區分及區域定義

4.1.1 面板前段工廠

4.1.2 面板后段工廠

4.1.3 模塊工廠

4.2 無塵衣/鞋/帽穿著使用規定

4.2.1 無塵衣等級區分

4.2.2 無塵鞋等級區分

4.2.3 無塵帽等級區分

4.2.4 各區無塵衣穿著規定

4.2.5 無塵衣換洗規定

4.2.6 無塵衣之破損與縫補

4.3 無塵室進入資格之取得

4.3.1 一般員工

4.3.2 高階主管

4.3.3 來賓(廠商)

4.3.4 無塵室進入資格取得之流程

4.4 無塵室進入資格之取消

4.5 無塵室資格考試

4.6 無塵室進出管制規定

4.6.1 人員之限制

4.6.2 物品之限制

4.7 進入無塵室之程序

4.7.1 人員進入無塵室之流程

4.7.2 物品進入無塵室之流程

4.7.3 儀器設備進入無塵室之流程

4.8 無塵衣穿著程序

4.8.1 連身式無塵衣穿著程序

4.8.2 披肩式無塵衣穿著程序

4.8.3 大衣式靜電袍穿著程序

4.9 無塵衣穿著步驟

4.9.1 連身式無塵衣穿著步驟

4.9.2 披肩式無塵衣穿著步驟

4.9.3 大衣式靜電袍穿著步驟

4.10 無塵衣穿著注意事項

4.11 無塵衣穿著檢查要項

4.12 無塵室一般禁止及注意事項

4.13 黃光室特別注意事項

4.14 來賓(廠商)進入無塵室注意事項

4.15 無塵室安全注意事項

4.16 無塵室環境條件控制

5. 使用表單(Form used)

6. 變更記錄(Change Record)



1. 大綱(Introduction)


1.1范圍(Scope)

凡進入無塵室內所有人、機器設備、物品、原物料、產品……等,均屬本規范之管制范圍。


1.2目的(Purpose)

為維持無塵室內潔凈度,管制污染源控制環境參數,特對于無塵室內之人、機器設備、物品、原物料等加以管制,以便能確保無塵室內潔凈度符合產品制程之需求,提高產品品質。



2. 參考文件(Referenced Document)


美國聯邦標準209D(U.S. FEDERAL STANDARD 209D)

MS-5103 無塵無菌室運轉管理指針(GUIDANCE FOR OPERATION OF CLEAN ROOM)



3. 名詞定義(Definition)


本規范除下列所述名詞外,均依照JIS Z 8122(Contamination Control術語)。

無塵室Particle被控制在規定值內之房間

粒子(Particle)一般而言指0.001至1000μm之粒徑的固體或液體之物質



4.無塵室管理規范程序


4.1無塵室潔凈度等級區分及區域定義

4.1.1 面板前段工廠

 A區(Class 100級):包含黃光室及組合室。

 B區(Class 1000級):除A、C區以外之其它面板前段生產區。

 C區(Class 10000級):包含投片室。


4.1.2面板后段工廠

 D區(Class 1000級):面板后段無塵室(液晶注入室)。

 E區(Class 1000級):面板后段貼片區(Clean Booth內)。

 F區(Class 10000級):面板后段一般區。


4.1.3 模組工廠

  G區(Class 1000級):模組無塵室(COG室)。

  H區(Class 1000級):模組酵硯區(Clean Booth內)。

  I區(Class 10000級):模組一般區。


4.2無塵衣/鞋/帽穿著使用規定

4.2.1 無塵衣等級區分

     連身式無塵衣:Class 100級、白色、蘋果綠色、藍色、綠色、淡黃色(藍色為工程員使用、綠色為施工及未認證人員使用、淡黃色為來賓使用) 。

     披肩式無塵衣:Class 1000級、白色、藍色、淡黃色(藍色為工程員使用、淡黃色為來賓使用)。

     大衣式靜電袍:Class 10000級、白色、藍色、淡黃色(藍色為工程員使用、淡黃色為來賓使用)。


4.2.2無塵鞋等級區分

  長統式無塵鞋:Class 100級、白色、蘋果綠色、藍色、綠色、黃色 (藍色為工程員使用、綠色為施工及未認證人員使用、黃色為來賓使用)

  開孔式靜電鞋:Class 10000級、白色(來賓使用不織布鞋套)。


4.2.3無塵帽等級區分

     連身式無塵帽:Class 100級、白色、蘋果綠色、藍色、綠色、黃色(與無塵衣連在一起)。

     披肩式無塵帽:Class 1000級、白色、藍色、黃色、粉紅、淺紅、深紅(藍色為工程員及技術員使用、黃色為來賓使用、粉紅為QC使用、淺紅為制造部物料員使用、深紅為制造部組長使用)。

     蝴蝶式無塵帽:Class 1000級、白色、藍色、黃色、粉紅、淺紅、深紅(藍色為工程員及技術員使用、黃色為來賓使用、粉紅為QC使用、淺紅為制造部物料員使用、深紅為制造部組長使用)。


4.2.4各區無塵衣穿著規定

A、B區:

1. 管理、生產等工作人員,在A區及B區內工作時,均須穿著白色或蘋果綠色連身式無塵衣、長統式無塵鞋、戴網帽、口罩及手套。

2. 制程、設備及研發人員在A區及B區內工作時,則穿著藍色連身式無塵衣、披肩帽、長統式無塵鞋、戴網帽、口罩及手套。

3. 品管在A區及B區內工作時,均須穿著粉紅色連身式無塵衣、長統式無塵鞋、戴網帽、口罩及手套。

4. 施工及未認證人員,均須穿著綠色連身式無塵衣、長統式無塵鞋、戴網帽、口罩及手套。

5. 來賓則穿著來賓專用黃色連身式無塵衣、披肩帽、長統式無塵鞋套、戴網帽、口罩及手套。


 D、G區: 

1. 管理、生產、品管等工作人員,均須穿著白色或藍色披肩式無塵衣、披肩帽、長統式無塵鞋,戴網帽、口罩及手套(物料員使用淺紅4色披肩帽、制造部組長使用深紅色披肩帽、技術員使用藍色披肩帽、品管使用粉紅色披肩帽)。

2. 制程、設備及研發人員,則穿著藍色披肩式無塵衣、披肩帽、長統式無塵鞋、戴網帽、口罩及手套。 

3. 來賓則穿著來賓專用黃色披肩式無塵衣、披肩帽、長統式無塵鞋套、戴網帽、口罩及手套。


C、F、H、I區:

1. 管理、生產、品管等工作人員,均須穿著白色或藍色大衣式靜電袍、蝴蝶帽、開孔式無塵鞋(物料員使用淺紅色蝴蝶帽、制造部組長使用深紅色蝴蝶帽、技術員使用藍色蝴蝶帽、品管使用粉紅色蝴蝶帽)。

2. 制程、設備及研發人員,則穿著藍色大衣式靜電衣、蝴蝶帽、開孔式無塵鞋。

3. 來賓則穿著來賓專用黃色大衣式靜電袍、蝴蝶帽、不織布鞋套。


4.2.5無塵衣換洗規定

無塵衣等須二周定期清洗,由外包專業洗衣廠統一清洗,并送回廠內,以維持無塵衣之清潔。


4.2.6無塵衣之破損與縫補

無塵衣若有破損、拉煉損壞、松緊帶松弛、魔術粘掉落….等情況發生時,該件即應立即停止使用,若可修補者應將其置于待修補區,若已達無法修補者則應將其報廢,領用新品使用。


4.3無塵室進入資格之取得

4.3.1 一般員工:凡經常于無塵室內工作或不定期會進入無塵室者,均應先由制造部上過『無塵室管理規范』或其它相關課程,并通過考試合格后,才具無塵室進出資格,考試合格人員由制造部造冊列管,然后才可向制造部領取無塵衣等相關物品。


4.3.2 高階主管:熟知并了解無塵室管理規范及其它各項相關規定后,即具無塵室進出資格。

(高階主管定義:指董事長、總經理、副總經理等)


4.3.3 來賓(廠商):應由接待部門具無塵室出入資格者,先行講解無塵室內各項規定及注意事項后,始可在相關人員全程陪同下進入無塵室。


4.3.4無塵室進入資格取得之流程:


4.4無塵室進入資格之取消

若有下列情況發生時則取消其無塵室進入資格:

   4.4.1.人員離職時或留職停薪期間超過3個月者。

   4.4.2.1個月內累計違反無塵室管理規范或其它各項相關規定,被品管或稽核人員登記達2次(含)以上者。

   4.4.3違反無塵室管理規范或其它各項相關規定情節重大者。

   4.4.4無塵室管理規范或其它各項相關規定有大幅度之修改,而需取得重新認證時。


4.5無塵室資格考試

   考前準備:考試前應由制造部統一講授 -- 無塵室管理規范及其它各項相關規定。

   測驗卷:共有A、B、C、D共4份測驗卷,每份均為15題選擇題及10題是非題,每題4分,采不倒扣方式計分。

   考試時間:10分鐘。

   及格分數:80分。

   補考規定:第一次測驗不合格者,得經再上課后補考一次,若仍不合格者即無法取得無塵室工作資格。


4.6無塵室進出管制規定

4.6.1人員之限制

     (1) 公司員工:因職務之需要必須進入無塵室內工作者,須先上過『無塵室管理規范』及其它無塵室相關規定之課程,并通過考試及格后,才可進入無塵室。

     (2) 非公司員工:為維持無塵室潔凈度之要求及避免生產作業受到不必要之干擾,以確保產品之品質,除下列情況外,均謝絕進入無塵室參觀:

    督導單位長官或評鑒/稽核人員視察。

    重要客戶或供貨商了解現場作業情況。

    儀器/設備之維修工程師或外包施工廠商。

    本公司聘雇之顧問或專家。

    (3) 非公司員工進入無塵室時,必須有接待或相關部門人員全程陪同。

    (4) 來賓進入無塵室之申請程序:來賓須進入無塵室時,應由接待或相關部門人員向制造部主管提出申請,取得核準后始可進入無塵室。

    (5) 進入無塵室均須刷卡進入。


注:有下列健康狀況或體質者原則上不能進入無塵室

a. 因日曬、濕疹、或燙傷而皮膚有問題者。

b. 對化學纖維有過敏性體質者。

c. 對溶劑等化學藥劑有過敏性體質者。

d. 容易流汗或出手汗者。

e. 容易流鼻涕或從鼻子常流出排出物者。

f. 常咳嗽、打噴嚏或患氣喘病者。

g. 經常有搔抓習慣者。

h. 有精神病、神經過敏或閉鎖性恐懼癥者。


4.6.2 物品之限制

    (1) 非生產或工作所需之物品一律禁止攜入無塵室。

    (2) 面板前段紙類物品(非無塵紙)禁止攜入無塵室,若必須攜入時則須塑封或加塑料護套。

    (3) 下列物品一律禁止攜入無塵室:(原文鏈接:http://www.iwuchen.com/a-130/)

 鉛筆、橡皮擦、修正液(修正帶)等易發塵或揮發之文具(僅A、B、C、D、G區)。

 普通紙類、紙箱、普通筆記簿、紙制活頁夾等(僅A、B、C區)。

 木制物品且表面無聚乙稀等物質包覆者。

 鐵制物品且未作防銹處理而有生銹之虞者。

 臟污或外表生銹之物品。

 保麗龍類物品(僅A、B、C、D、G區)。

 其它易污染環境或制造particle之物品。

    (4) 物品攜入無塵室前,必須先擦拭干凈,才可帶入無塵室。


4.7進入無塵室之程序

4.7.1人員進入無塵室(CR)之流程:

4.7.2物品進入無塵室之流程:

4.7.3儀器設備進入無塵室之流程:

進入無塵室流程



4.8無塵衣穿著程序

4.8.1連身式無塵衣穿著程序:

  (脫衣程序則為反向)


4.8.2披肩式無塵衣穿著程序:

  (脫衣程序則為反向) 


4.8.3 大衣式靜電袍穿著程序:

(脫衣程序則為反向)

無塵衣穿著程序



4.9 無塵衣穿著步驟

4.9.1 連身式無塵衣穿著步驟

      戴上網帽

      -先確認衣服正面朝前并穿上雙袖

      套在頭上,露出臉部

      穿上褲腳

      將胯下拉煉由一端拉至另一端(拉煉開口不可露出,必須被長統無塵鞋蓋住)

      穿上無塵鞋

      將頭部魔鬼粘扣上

      戴上口罩并扣上頸部魔鬼粘


4.9.2 披肩式無塵衣穿著步驟

      戴上網帽

      -戴上披肩帽

      穿上無塵衣(披肩帽緣須被無塵衣包住)并拉上拉煉及扣上領扣

      穿上無塵鞋


4.9.3 大衣式靜電袍穿著步驟

      穿上大衣式靜電袍

     - 穿上靜電鞋

      戴上蝴蝶帽


4.10無塵衣穿著注意事項

(1) 換下之拖鞋請整齊置于指定處所。

(2) 清洗干凈且包裝好之無塵衣/鞋/帽等,請放置于個人衣柜內。

(3) 使用中之無塵衣,應整齊吊掛于Clean Booth(HEPA)之衣架上,以維持高潔凈度。

(4) 換穿無塵衣過程中,應盡量避免無塵衣接觸地面。

(5) 戴網帽時應盡量將頭發、耳朵都包覆在內,勿使其外露。

(6) 無塵衣拉煉均應拉到底;扣子應扣好;魔術粘亦應粘妥。

(7) 無塵衣穿著應松緊適中,不可過松或太緊(可利用腰帶來調整松緊度)。

(8) 無塵衣若有破損時,不可繼續穿著,應修補后才可使用(若不堪修補時應報廢更換新品)。

(9) 穿無塵鞋時,應穿著襪子以維持個人衛生。

(10) 穿無塵鞋時應全腳穿入,不可踩住鞋后跟。

(11) 穿上無塵衣后,便服褲腳不可外露應包覆在無塵衣內。

(12) 口罩應遮住口、鼻不使其外露。

(13) 手套應完全塞入無塵衣之袖口內。

(14) 穿著無塵衣或戴口罩、手套時,不可邊走邊穿戴。

(15) 披肩帽應壓在無塵衣內,帽緣不可外露。

(16) 無塵室內不可打瞌睡。

(17) 原則上網帽、口罩、手套之更換頻率如下:

         網帽每周更換一次,若臟污或破損時則立即更換。

         口罩每2天更換一次,若臟污或破損時則立即更換(一次性紙口罩每次進出更換一次)。

         手套每次進出更換一次,若臟污或破損時則立即更換。

         指套每次二小時更換一次,若進出工廠或臟污、破損時則立即更換(因貼片站作業情況特殊,指套需半小時更換一次)。


4.11 無塵衣穿著檢查要項

 穿好無塵衣進入Air Shower前,應于鏡子前檢查下列各項:

(1) 頭發、網帽不可外露。

(2) 口、鼻不可外露。

(3) 褲腳不可外露(大衣式靜電袍除外)。

(4) 無塵衣、鞋不可破損或臟污。

(5) 無塵衣、鞋之拉煉、扣子、魔術粘等,應拉好不可松脫。

(6) 手套端緣不可外露。

(7) 無塵衣、帽之識別名牌,應貼合固定牢靠。(新人尚無識別名牌者不在此限)

(8) 披肩帽帽緣不可外露。


4.12 無塵室一般禁止及注意事項

(1) 未取得無塵室進入資格者,不得進入無塵室。

(2) 嚴禁裸手接觸產品。

(3) 表單、Run Card、記錄簿等應確實小心填寫,任何涂改必須于旁邊簽名及日期。

(4) 手套應保持干燥清潔,并且不可在手套上涂寫。

(5) 嚴禁坐臥桌面、腳踏板、地板、垃圾桶、護欄,以及斜靠機臺或儲存柜。

(6) 若手易出汗或過敏者,可先戴細棉手套再帶PVC手套或乳膠手套。

(7) 應隨時注意各項公告及標語。

(8) 應主動相互支持,但不可單獨操作未認證合格之機臺。

(9) 大家應隨時取締、糾正不合規定之人員、物品、標示等,并通知相關主管。

(10) 應隨時注意頭發、口、鼻不可外露。

(11) 不可將無塵衣、帽等隨意置于地板上。

(12) 只能在更衣室內穿、脫無塵衣,不可在其它地方為之。

(13) Air Shower前后兩門不可同時開起。

(14) 無塵室內嚴禁奔跑、嬉戲、喧嘩、睡覺等。

(15) 無塵室內嚴禁吃東西或喝飲料。

(16) 無塵室內應避免多人聚集在一起,以免制造particle。微粒

(17) 劇烈運動或流汗后,不可立即進入無塵室,需待呼吸平穩且不再流汗后,方可進入。

(18) 若有抽煙,須于抽后30分鐘并且洗手漱口后,方可進入。

(19) 面板前段不可將一般用紙、筆記本、紙箱、衛生紙、書籍、鉛筆、修正液、橡皮擦等非       無塵用品攜入無塵室。

(20) 嚴禁于無塵室內磨、銼、鋸,砂紙、磨料….等,亦禁止使用。

(21) 無塵室內工作人員,應保持頭發、身體之清潔,并經常盥洗。

(22) 進入無塵室的人員禁止使用香水、口紅、發膠及其它化妝品,若有化妝者應先卸妝后才可進入。

(23) 原物料進入無塵室,需先在外面拆箱并擦拭干凈后才可進入無塵室。

(24) 不可面對產品、Cassette或機臺之chamber交談。

(25) 即使已戴手套或指套,亦須減少對產品做非必要之碰觸。

(26) 無塵室內文件、半成品、物品或生產工具,非經部門主管允許,不可攜出。

(27) 談話時不可拉下口罩交談。

(28) 在無塵室內使用電話,宜簡短扼要,勿占線。

(29) 無塵室內逃生路線,不可有障礙物阻礙逃生。

(30) 無塵室內產品、化學品、Cassette、工具、文件、記錄簿……等,應放置整齊。

(31) 進入Air Shower前,雙腳應先踏腳踏粘墊,將無塵鞋底之臟污去除。

(32) Air Shower內之正確動作應為雙手舉起,并緩慢旋轉身體(至少三圈)。

(33) 各Air Shower均有規定人數,不可超過所規定人數,若人數過多時應分批進入。

(34) 安全門僅供緊急狀況時使用,平時嚴禁由安全門進出工廠。

(35) 無塵衣/鞋不可穿出無塵室外,靜電鞋亦不可穿出工廠外之區域。


4.13 黃光室特別注意事項

(1) 黃光室內最多不得超過5人。

(2) 進入黃光室必須吹Air Shower。

(3) 使用光源時必需小心,以免影響曝光制程。

(4) 生產中,不能有會影響溫/濕度之干擾因子進入。

(5) 非必要請勿隨意走動或進出頻繁。


4.14 來賓(廠商)進入無塵室注意事項

進入無塵室前必須先申請,并取得許可,始可由相關人員陪同進入。

(1) 來賓在無塵室內活動須全程有相關人員陪同。

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